真空镀膜机用小型磁性液体密封设计
于文娟,李德才,李艳文,张志力,董珈皓
Design of magnetic fluid seal of small vacuum coating machine
YU Wenjuan，LI Decai，LI Yanwen，ZHANG Zhili，DONG Jiahao
北京交通大学学报 . 2021, (5): 124 .  DOI: 10.11860/j.issn.1673-0291.20210025

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