真空镀膜机用小型磁性液体密封设计

doi:10.11860/j.issn.1673-0291.20210025

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北京交通大学学报 ›› 2021, Vol. 45 ›› Issue (5) : 124. DOI: 10.11860/j.issn.1673-0291.20210025

机械与电气工程

真空镀膜机用小型磁性液体密封设计

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Design of magnetic fluid seal of small vacuum coating machine

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2021-10-29
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2021-12-23

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