化学机械抛光中抛光垫作用分析

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北京交通大学学报 ›› 2007, Vol. 31 ›› Issue (1) : 18-21.

化学机械抛光中抛光垫作用分析

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Analysis on Pad Effects in Chemical Mechanical Polishing

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Published
2007-01-25
Issue Date
2007-02-15

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