化学机械抛光中抛光液流动的微极性分析

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北京交通大学学报 ›› 2005, Vol. 29 ›› Issue (1) : 74-77.

化学机械抛光中抛光液流动的微极性分析

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Micro-Polar Effects of Flow Features of Slurries in Chemical Mechanical Polishing Process

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Published
2005-01-25
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2005-02-15

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